1200℃滑动双温区/多PECVD系统

来源:
天津中环电炉股份有限公司
日期:
2023年6月8日
产品用途:



产品专业性:



PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。



 



产品组成:



PECVD系统配置:



1.1200度开启式双温区真空管式炉



2.等离子射频电源



3.多路质量流量控制系统



4.真空系统(可选配中真空或高真空)  



 



产品特点:



生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。







 



天津中环电炉股份有限公司

黄女士

  

         

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